AMAT Producer SE+ Low K
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CVD

类型

2007年

年份

12

晶片尺寸

基本信息

  • 型号:Producer SE+
  • 类型:CVD
  • 年份:2007年
  • 晶片尺寸:12
  • 设备数量:1
  • 销售状态:已出售

设备描述

Low-K(SiCOH)x 3Twin[HF_Apex3013,LF_PDX900-2V, RPS_MKS FI80131], Server Type, LCF Option, TDK_Loadportx2, FI_Kawasaki 2 Fixed Robot, iSYS Controller

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