Lam DV38DS Single Cleaner

基本信息设备描述

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Lam DV38DS Single Cleaner

商家设备

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WET

类型

2006年

年份

晶片尺寸

基本信息

型号：Davinchi38DS
类型：WET
年份：2006年
晶片尺寸：12
设备数量：1
销售状态：已出售

设备描述

Process : S_FX_MT, 3X Loadport, 8 chambers, sankyo robot, CBM X2, Power Rack, FFU uit, ATMI unit, video rack, parts (spare), Chemical : HF, SC-1 (NaOH, H2O2)

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